Range Lelungan
20 mm
Resolusi
0,125μm
Repeatability
<1μm
Straightness
<2μm
Paralelisme
<5μm
Pitching
10″（50μrad）
Nguap
Kacepetan maksimum
5 mm/ sek
Kapasitas Muatan
10 kg
Bobot
1,5 kg
